無塵室簡介

無塵室設計考量

​無塵室工程的設計考量:

為讓無塵室達到最佳效果,規劃無塵室廠房,及進行無塵室工程時需確保以下幾點:

 

1. 粉塵之阻止

  • 機械運動所產生之粉塵

  • 人員運動所產生之揚塵

  • 玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦

  • 擦拭工具或材料所產生之粉屑

  • 未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具

  • 製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑

  • 身體肌膚之體屑

  • 粉塵堆積

2. 無塵室空間溫度與溼度控制

3. 人員動線

4. 無塵室、廠房儀器設備位置與移機動線

5. 噪音防止

  • 製程儀器設備運轉之聲音

  • 基板搬運機傳載之聲音

  • 空調運轉之聲音

  • 廣播聲

6. 靜電與電磁防止

  • 玻璃機板與空氣之摩擦

  • 玻璃與機械手背吸盤之摩擦

  • 製程過程中累積之電荷

  • 擦拭過程中所產生之靜電

  • 高電流電源線、高頻電源供應器、通信器材之電磁

7. 震動問題

  • 儀器設備機械或幫浦運作所造成之震動

  • 搬運設備或人員走動之震動

  • 地表之自然震動源

  • 廠外重型機具或載具之移動

8. 廠房安全設施

  • 緊急照明與逃生指示燈之裝置

  • 逃生路線之規劃與管制

  • 特殊氣體偵測系統之裝置

  • 接地設施之裝置

  • 有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統

  • 火災預警措施與自動滅火裝置

 

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