
無塵室設計考量
無塵室工程的設計考量:
為讓無塵室達到最佳效果,規劃無塵室廠房,及進行無塵室工程時需確保以下幾點:
1. 粉塵之阻止
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機械運動所產生之粉塵
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人員運動所產生之揚塵
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玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦
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擦拭工具或材料所產生之粉屑
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未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具
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製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑
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身體肌膚之體屑
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粉塵堆積
2. 無塵室空間溫度與溼度控制
3. 人員動線
4. 無塵室、廠房儀器設備位置與移機動線
5. 噪音防止
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製程儀器設備運轉之聲音
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基板搬運機傳載之聲音
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空調運轉之聲音
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廣播聲
6. 靜電與電磁防止
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玻璃機板與空氣之摩擦
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玻璃與機械手背吸盤之摩擦
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製程過程中累積之電荷
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擦拭過程中所產生之靜電
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高電流電源線、高頻電源供應器、通信器材之電磁
7. 震動問題
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儀器設備機械或幫浦運作所造成之震動
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搬運設備或人員走動之震動
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地表之自然震動源
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廠外重型機具或載具之移動
8. 廠房安全設施
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緊急照明與逃生指示燈之裝置
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逃生路線之規劃與管制
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特殊氣體偵測系統之裝置
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接地設施之裝置
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有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統
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火災預警措施與自動滅火裝置