無塵室設計考量
無塵室工程的設計考量：
為讓無塵室達到最佳效果，規劃無塵室廠房，及進行無塵室工程時需確保以下幾點：
1. 粉塵之阻止
-
機械運動所產生之粉塵
-
人員運動所產生之揚塵
-
玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦
-
擦拭工具或材料所產生之粉屑
-
未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具
-
製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑
-
身體肌膚之體屑
-
粉塵堆積
2. 無塵室空間溫度與溼度控制
3. 人員動線
4. 無塵室、廠房儀器設備位置與移機動線
5. 噪音防止
-
製程儀器設備運轉之聲音
-
基板搬運機傳載之聲音
-
空調運轉之聲音
-
廣播聲
6. 靜電與電磁防止
-
玻璃機板與空氣之摩擦
-
玻璃與機械手背吸盤之摩擦
-
製程過程中累積之電荷
-
擦拭過程中所產生之靜電
-
高電流電源線、高頻電源供應器、通信器材之電磁
7. 震動問題
-
儀器設備機械或幫浦運作所造成之震動
-
搬運設備或人員走動之震動
-
地表之自然震動源
-
廠外重型機具或載具之移動
8. 廠房安全設施
-
緊急照明與逃生指示燈之裝置
-
逃生路線之規劃與管制
-
特殊氣體偵測系統之裝置
-
接地設施之裝置
-
有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統
-
火災預警措施與自動滅火裝置