在台灣（世界上大部分也是）所謂的無塵室等級是參考美規209E，它所管制的項目包括：落塵量、溫度、溼度、靜壓及照明度……等等，而所謂的等級之分是依據落塵量的最大設計值來做基準。

除了美規的標準之外也有日規的標準（JIS B 9920），它的算法又不一樣了，日規算法是以0.1μm做基準，如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^3 （指的是10的3次方），也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000顆，那麼它的等級就是Class 3，如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^6 ，也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000000顆，那麼它的等級就是Class 6，而日本是以立方公尺計算，與美國的立方英呎不同，但是在美規及日規標準之間其實是可以換算的。
 

無塵室的等級：
class 100=一立方米的空間內空氣中直徑為1埃（百億分之一米）的塵粒，不得超過100顆，一般都用顆粒數來做等級名稱

潔淨度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，於檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 微粒計數器有不同規格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英呎。至於應使用何種機台，要依業主的規範而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。 

業界常見的級數 : 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

無塵室最大容許之粒子數，是依據所考慮之粒徑及要求等級而定：