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無塵室簡介

無塵室規格

無塵室工程的各種規格須知:

在台灣(世界上大部分也是)所謂的無塵室等級是參考美規209E,它所管制的項目包括:落塵量、溫度、溼度、靜壓及照明度……等等,而所謂的等級之分是依據落塵量的最大設計值來做基準。

除了美規的標準之外也有日規的標準(JIS B 9920),它的算法又不一樣了,日規算法是以0.1μm做基準,如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^3 (指的是10的3次方),也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000顆,那麼它的等級就是Class 3,如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^6 ,也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000000顆,那麼它的等級就是Class 6,而日本是以立方公尺計算,與美國的立方英呎不同,但是在美規及日規標準之間其實是可以換算的。

 

無塵室的等級:
class 100=一立方米的空間內空氣中直徑為1埃(百億分之一米)的塵粒,不得超過100顆,
一般都用顆粒數來做等級名稱


潔淨度測試使用微粒計數器,儀器須經校正合格且仍在有效期限內,於檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 微粒計數器有不同規格,最常見的是流量1cfm,最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm,單位多是立方英呎。至於應使用何種機台,要依業主的規範而定。一般在產業界,多依以下方式選擇微粒計數器。 

業界常見的級數 : 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

無塵室最大容許之粒子數,是依據所考慮之粒徑及要求等級而定:

 

 

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